Nom de l'équipement: Machine de nettoyage au plasma sous vide hors ligne

Numéro de modèle: VPC42

Fabricant: Beijing Torch SMT Incorporated Company

I. Nom de l'équipement, numéro de type, origine et date de livraison

1. Nom de l'équipement : Machine de nettoyage au plasma sous vide.

2. Numéro de modèle: VPC42.

3. Origine (pays, fabricant): Beijing Torch SMT Incorporated Company.

4. Date de livraison: 4 à 8 semaines après l'entrée en vigueur du contrat.

5. Principalement utilisé pour le processus de traitement de surface au plasma dans les domaines des boîtiers semi-conducteurs tels que les plaquettes de silicium, les substrats en verre, les substrats en céramique, les plaques de support IC, les grilles de connexion en cuivre, les cartes d'alimentation à substrat simple face de grande taille, les modules IGBT, les capteurs MEMS avec fixation, dispositif à micro-ondes , filtre, appareil RF, etc.

II. Principaux paramètres de performance technique:

1. Volume de la chambre à vide: 42L

2. Degré de vide:

Le degré de vide maximal de l'aspirateur plasma VPC42 est inférieur à 2 Pa (pompe à sec mécanique 40L/Minute)

3. Zone de nettoyage efficace:

Zone de nettoyage unique: 350 *350mm

15 couches: intervalle de 15mm: fréquence intermédiaire 40KHZ 2KW (traitement de surface)

5 couches: intervalle de 50mm, fréquence radio 13.56Hz 300W (traitement de volume, avec refroidissement par eau)

4. Hauteur de la chambre à vide:

Hauteur de la chambre: 350mm (taille effective)

5. Température de nettoyage:

Nettoyage à basse température (inférieure à la température ambiante).

6. Fréquence de nettoyage: 30-120s

7. Effet de nettoyage: la valeur dyne peut atteindre 70. L'angle de goutte d'eau est de 15 degrés et il peut être contrôlé de manière optimale dans les 10 degrés (l'atelier avec une propreté de l'air de classe 100 sans poussière peut être nettoyé en 4 heures)

8. Le gaz peut être utilisé :

Argon, azote, oxygène, mélange azote-hydrogène, hydrogène et tétrafluorure de carbone, etc.

9. La machine de nettoyage plasma sous vide VPC42 est équipée du logiciel Système de contrôle:

Le système de contrôle logiciel est facile à utiliser, il permet de connecter l'équipement de contrôle, et diverses courbes de processus de nettoyage peuvent être définies, et les courbes peuvent être définies, modifiées, stockées et sélectionnées pour une utilisation en fonction de différents processus; Le logiciel a sa propre fonction d'analyse, qui peut analyser la courbe de processus. Le logiciel du système de contrôle enregistrera automatiquement les données du processus de nettoyage, la courbe de température, l'heure et les données relatives aux alarmes en temps réel pour assurer la traçabilité du processus de nettoyage du produit.

10 L'équipement n'a pas besoin d'être calibré donc plus aucun frais de calibrage ne sera appliqué.

11 Consommation d'énergie en fonctionnement:

2.5KW, hors consommation électrique du refroidisseur (fréquence intermédiaire)

1.5KW, hors consommation électrique du refroidisseur(radiofréquence)

12. La fonction d'alarme de surchauffe et d'enregistrement. (Configuration standard)

La machine de nettoyage au plasma sous vide VPC42 fonctionne avec une protection contre la surchauffe de la surface de la pièce, une alarme, une protection de sécurité de la température et un enregistrement de l'ensemble de la machine pendant le processus de nettoyage.

13. Systèmes de gestion et d'analyse des flux d'azote, d'argon et autres (logiciel + matériel). (facultatif)

La machine de nettoyage au plasma sous vide VPC42 fonctionne par la gestion et l'analyse en temps réel des gaz de traitement tels que l'azote et l'argon consommés par l'ensemble de la machine, et peut enregistrer et analyser la consommation de gaz, la consommation quotidienne, la consommation hebdomadaire et la consommation de différentes périodes en temps réel.

14. Fonction d'alarme de pression de gaz de processus et système d'analyse (logiciel + matériel). (facultatif)

La machine de nettoyage au plasma sous vide VPC42 fonctionne par alarme de sous-tension, enregistrement et analyse de la source de gaz de procédé dans le processus de production de l'ensemble de la machine, ce qui est très utile pour la traçabilité de la qualité du produit.

15. Système de gestion et d'analyse de l'énergie (logiciel + matériel). (facultatif)

La machine de nettoyage au plasma sous vide VPC42 fonctionne par une gestion et une analyse en temps réel de la consommation d'énergie, et peut analyser l'enregistrement de la consommation d'énergie en temps réel, de la consommation d'énergie quotidienne, de la consommation d'énergie hebdomadaire, de la consommation d'énergie par période, etc.

16. Avec système de gestion et d'analyse statistique des sorties (logiciel + matériel). (optionnel)
La Machine de nettoyage au plasma sous vide VPC42 a la fonction de gestion et d'analyse en temps réel de la sortie des produits de traitement sous vide de l'ensemble de la machine. Il peut consigner, enregistrer et analyser la sortie de quart de travail en temps réel, la sortie quotidienne, la sortie hebdomadaire et la sortie mensuelle pour la traçabilité et l'analyse de la qualité du produit.
17. Sous-système MES Interface de données (logiciel + matériel). (optionnel)
La machine de nettoyage au plasma sous vide VPC42 est également fonctionnée par MES Interface de données de l'ensemble de la machine, et le système MES peut être sélectionné et configuré pour effectuer diverses acquisitions de données et analyses d'équipements intelligents.
18. Dimensions globales:
850*960*1680mm (hors voyant d'alarme)
19. Structure interne: voir la figure de droite

III. Composition et configuration de base: