Máquina de limpieza de plasma al vacío VPC3i (Inline)
Máquina de limpieza de plasma al vacío en línea
Número de modelo: VPC3i
Fabricante: Beijing Torch SMT Incorporated Company
I. Equipment name, type number, origin and delivery date
1. Equipment name: Máquina de limpieza de plasma al vacío en línea.
2. Número de modelo: VPC3i.
3. Origen (país, fabricante): Beijing Torch SMT Incorporated Company.
4. Fecha de entrega: 4-8 semanas después de que el contrato entra en vigencia.
5. Se utiliza principalmente para el proceso de tratamiento de superficies de plasma en campos de carcasas de semiconductores, como oblea de silicio, sustrato de vidrio, sustrato de cerámica, placa portadora de circuitos integrados, marco de plomo de cobre, placa de alimentación de sustrato de un solo lado de gran tamaño, módulo IGBT, sensor MEMS con accesorio, dispositivo de microondas, filtro, dispositivo RF, etc.
II. Parámetros de rendimiento técnico principal:
1. Volumen de cámara de vacío: 3L
2. Grado de vacío:
El grado máximo de vacío del limpiador de plasma de vacío VPC3i es inferior a 10 Pa (bomba seca mecánica 8L)
3. Área de limpieza efectiva:
Área de limpieza individual: 350 * 100 * 85mm
Plasma frequency: 13.56hz 300W RF (volume treatment, with water cooling)
4. Altura de la cámara de vacío:
Altura del horno: 100mm (effective size)
5. Temperatura de limpieza:
Limpieza de baja temperatura (por debajo de la temperatura ambiente).
6. Frecuencia de limpieza: 30-120s
7. Efecto de limpieza: el valor de la dine puede alcanzar 70. El ángulo de caída de agua es de 15 grados, y se puede controlar de manera óptima dentro de los 10 grados (el taller con limpieza de aire en la clase 100 sin polvo se puede limpiar dentro de las 4 horas)
8. Gas que se puede usar:
Argón, nitrógeno, oxígeno, mezcla de hidrógeno de nitrógeno, hidrógeno y ácido fórmico, etc.
9. Sistema de control de la máquina de limpieza de plasma de software equipado con VPC3I:
El software Sistema de Control es fácil de operar, permite que la conexión de equipos de control y se puedan establecer varias curvas de proceso de limpieza y se pueden configurar, modificar, almacenar y seleccionar para usar de acuerdo con diferentes procesos; El software tiene su propia función de análisis, que puede analizar la curva de proceso. El software Sistema de Control registrará automáticamente el proceso de limpieza, Curva de Temperatura, datos relacionados con el tiempo y la alarma en tiempo real para garantizar la trazabilidad del proceso de limpieza del producto.
10. El equipo no necesita ser calibrado, por lo que no se producirán más tarifas de calibración.
11. Operating Consumo de energía: 2.2kW, excluding the power consumption of chiller
12. La función de la alarma y el registro de la temperatura excesiva. (Configuración estándar)
Máquina de limpieza de plasma al vacío VPC3i se funciona con la superficie de la pieza de trabajo sobre la protección de la temperatura, la alarma, la protección de seguridad de la temperatura y el registro de toda la máquina durante el proceso de limpieza.
13. Nitrógeno, argón y otros sistemas de gestión y análisis de flujo (software + hardware). (Opcional)
Máquina de limpieza de plasma al vacío VPC3i se funciona por el manejo y el análisis de los gases de proceso como el nitrógeno y el argón consumidos por toda la máquina, y puede registrar y analizar el consumo de gas, el consumo diario, el consumo semanal y el consumo de período de tiempo diferente en tiempo real.
14. Procese la función de alarma de presión de gas y sistema de análisis (software + hardware). (Opcional)
Máquina de limpieza de plasma al vacío VPC3i se funciona mediante alarma de subvoltaje, registro y análisis de la fuente de gas de proceso en el proceso de producción de toda la máquina, que es muy útil para la trazabilidad de la calidad del producto.
15. Sistema de gestión y análisis de energía (software + hardware). (Opcional)
La máquina de limpieza de plasma al vacío VPC3i se funciona por la gestión en tiempo real y el análisis del consumo de energía, y puede analizar el registro del consumo de energía en tiempo real, el consumo diario de energía, el consumo semanal de energía, el consumo de energía del período de tiempo, etc.
16. Sistema de análisis y análisis de contenido de oxígeno (Software + hardware) (Opcional)
La máquina de limpieza de plasma al vacío VPC3i se funciona por el manejo y el análisis del contenido de oxígeno en la cámara de vacío de toda la máquina. Puede analizar, registrar y analizar el valor PPM del contenido de oxígeno en tiempo real para la trazabilidad y análisis de calidad del producto.
17. MES Interfaz de datos subsystem (Software + hardware). (Opcional)
La máquina de limpieza de plasma al vacío VPC3i también está funcionando por MES Interfaz de Datos de toda la máquina, y el sistema MES se puede seleccionar y configurar para completar varias adquisiciones de datos y análisis de equipos inteligentes.
18. Dimensiones totales:
550 * 1260 * 1480mm (excluyendo la luz de alarma)
19. Estructura interna: Ver la figura correcta
III. Composición y configuración básica:
| Número | Description | Configuración | qty |
| 1 | Máquina de limpieza de plasma al vacío | Máquina principal | 1 conjunto |
| 2 | Sistema de energía de plasma | Configuración estándar | 1 conjunto |
| 3 | Sistema de medición de temperatura | Configuración estándar (4 grupos de acoplador de medición de temperatura) | 1 conjunto |
| 4 | Sistema de vacío | Configuración estándar | 1 conjunto |
| 5 | Bomba mecánica | Configuración estándar | 1 conjunto |
| 6 | Sistema de refrigeración de agua | Configuración estándar (Se excluye la máquina de enfriamiento industrial) | 1 conjunto |
| 7 | Máquina de enfriamiento industrial | Opcional | 1 conjunto |
| 8 | Sistema de ácido fórmico | Configuración estándar (Formic acid, gas pipeline and connection) | 1 conjunto |
| 9 | Sistema de protección de atmósfera de nitrógeno | Configuración estándar (excluir el suministro de la fuente de nitrógeno) | 1 conjunto |
| 10 | Máquina de limpieza de plasma al vacío software system | Configuración estándar (software de control) | 1 conjunto |
| 11 | Computadora industrial | Configuración estándar | 1 conjunto |
| 12 | Plasma | Configuración estándar | 1 piece |
| 13 | Temperature measurement sensor (repuestos) | Configuración estándar | 2 |
| 14 | Tubería de enfriamiento (repuestos) | Configuración estándar | 2 |
| 15 | Sistema de gestión y análisis de volumen de gas de proceso | Opcional | 1 conjunto |
| 16 | Procesar el sistema de alarma y análisis de presión de gas | Opcional | 1 conjunto |
| 17 | Sistema de gestión de energía y análisis | Opcional | 1 conjunto |
| 18 | Sistema de análisis y análisis de contenido de oxígeno | Opcional | 1 conjunto |
| 19 | MES Interfaz de datos system | Opcional |
IV. VPC3i Parámetro técnico
| Marca | Fabricante | Beijing Torch SMT Incorporated Company | Nota |
| Breve introducción | Origin | Beijing | |
| Componentes clave | Sensor de temperatura | US OMEGA | |
| Bomba de vacío | KYKY/BSC | ||
| Válvula de globo | Japan brand | ||
| Válvula resistente a la corrosión | Japan brand | ||
| Sistema eléctrico de bajo voltaje | SCHNEIDER | ||
| Interruptor de botón | Taiwan JICTEN/SCHNEIDER | ||
| Fotoeléctrico | Omron | ||
| Potencia de plasma | TORCH | ||
| Índice técnico clave | Temperatura | Limpieza de baja temperatura, la temperatura se mantiene a temperatura ambiente | |
| Min. Grado de vacío | 10pa | ||
| Contenido de oxígeno | <1ppm | ||
| Eficiencia de producción | 20-120S | ||
| Índice de proceso clave | Trazabilidad de calidad | 1. Procesar el registro de alarma de presión de gas. 2. Registro de alarma Contenido de oxígeno. 3. Temperatura sobre la temperatura Registro de alarma. 4. Registro de alarma del incumplimiento del valor al vacío |
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| Inteligencia e informatización | 1. Función inteligente. Si uno de los 4 indicadores anteriores no cumple con el estándar o da una alarma, se mostrará una alarma general para detener la producción para garantizar la calidad de producción. 2. El sistema de gestión de energía, el consumo de energía y el consumo de nitrógeno se cuentan y se muestran en tiempo real en el sistema de gestión de energía. 3. Toda la información anterior puede conectarse perfectamente al sistema MES a través de Interfaz de Datos para facilitar la toma de decisiones y la gestión del equipo de gestión. |
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| Facilities | Potencia | 380VAC, 20A | |
| Gas | Aire comprimido (CDA) 0.5Mpa | ||
| Nitrógeno | 0.5Mpa | ||
| Vacío | Equipado con bomba seca al vacío |
Nota:
El software de control para la máquina de limpieza de plasma de vacío de Beijing Torch SMT Incorporated Company está desarrollado de forma independiente por Beijing Torch SMT Incorporated Company y Beijing Torch SMT Incorporated Company Púlses el derecho de registro de software sin la certificación de terceros.
La máquina de limpieza de plasma de vacío de Beijing Torch SMT Incorporated Company ya ha obtenido varias patentes nacionales. ¡Por favor, no se arriesguen a copiar!
